본 발명은 전위차에 의해 변동하는 수은의 계면장력을 이용하여 유체를 이송시키는 마이크로 펌프에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 펌프는 소정부피를 갖는 기체실(12); 기체실에 한 끝이 연결된 모세관(11); 상기 모세관(11)의 다른 끝에 유체가 유입 체크밸브(32)와 배출 체크밸브(33)를 통하여 한 방향으로만 통과하도록 연결되는 이송관(31); 상기 모세관(11)의 중앙부분에 넣어지고, 전기 접촉핀(23)이 삽입되는 미소량의 수은(21); 한 측면은 상기 수은(21)에 인접하고 다른 측면은 이송되는 유체에 인접하도록 모세관(11)에 채워지고 내부에 전극(24)이 구비되는 전해질 용액(22); 및 상기 전기 접촉핀(23)과 전극(24) 사이에 전압을 공급하는 전원(25)으로 구성된다.
이 발명에 의한 펌프는 중력의 영향을 받지 않아 장치의 공간적 배향에 관계없이 다양한 환경에서 사용가능하고, 전기모터 등 동작부분이 없으며, 작은 전압과 미소한 전력 소비율을 가지며, 구조가 간단한 특징을 가진다.